emc易倍：电子科大张晓升教授团队在适用于单片集成多功能传感阵列芯片领域取得重要进展

发布日期：2025-01-26 访问量：

　　电子科技大学电子科学与工程学院（示范性微电子学院）张晓升教授团队与北京新风航天装备有限公司检测与控制技术研究室团队联合研制了一种适用于单片集成多功能传感阵列芯片的高灵敏度谐振式温度传感单元。该温度传感单元采用基于硅上压电薄膜（TPoS）结构的音叉式微机电谐振器作为核心部分，利用TPoS叠层结构自带的热应力放大效应，结合音叉式谐振器的一阶面外振动模态，实现了频率温度系数优于-1000ppm/ºC的优异性能，为实现片上多传感单元阵列的实时精确温度补偿功能提供了新的思路。近期，该项研究以Highly Sensitive Temperature Sensor Based on Coupled-Beam AlN-on-Si MEMS Resonators Operating in Out-of-Plane Flexural Vibration Modes为题发表于高水平综合性期刊Research（中科院一区，影响因子11.036）。论文第一作者为涂程副研究员，通讯作者为张晓升教授，电子科技大学为第一作者单位。

　　团队简介：

　　电子科学与工程学院微波电路与微系统集成团队（智能集成微系统实验室）现有成员12人，其中国家级省部级人才7人，长期从事智能微纳电路与集成微纳系统方向的研究工作，在智能微纳传感、射频集成微系统、生物医学电子、微纳能源采集等重要方向上取得了一系列研究成果，先后荣获2020年成电国际合作与国际教育先进团队、2021年度四川省青年科技创新研究团队、2022年度第六届成电研究生优秀导学团队奖，以及国家发明奖三等、四川省科学技术进步二等奖等荣誉奖励20余项，先后承担了包括国家自然科学基金、创新特区重点项目、省科技厅重大重点研发计划、领军电子企业技术合作研发重点项目等在内30余项。

　　期刊信息：

　　《Research》是中国科协与美国科学促进会于2018年共同创办的定位为国际化、高影响力、世界一流水平、综合性、大型OA科技期刊，是美国《Science》自1880年创刊以来第一本合作期刊。主要发表先进能源、先进制造、先进材料、人工智能、环境科学、柔性电子、健康科学、信息科学、微纳科技、量子信息、空间科学，11个热点交叉领域突破性原创研究成果。主编(中国)为中国科协副主席，中国科学院院士包为民，主编(国际)为美国明尼苏达大学麦克凯特杰出教授崔天宏。第二届编委会由许宁生、高松、黄如、李兰娟、饶子和、俞书宏、崔铁军等国内外50余位院士在内的170位编委组成。